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集成电路芯片废气处理方法

集成电路芯片废气处理方法

随着信息产业的迅速发展,通讯设备、网络设备和个人新算机需求持续增长,大大促进了集成电路芯片市场的扩大。但是集成电路芯片在制造生产过程产生酸性气体、碱性气体、有机废气等废气污染物,这些污染物如果不经过处理而排放会对环境和人身体健康产生危害,为了减少大气污染、净化空气达标排放,因此,需要对集成电路芯片废气进行净化处理后达标排放。
芯片废气处理方法

芯片废气处理方法

芯片作为电子产品核心部件,随着电子产品的应用越来越广泛,芯片的需求量在不断的增长。但是芯片厂在生产工艺中使用各种酸液、碱液、有机溶剂等产生HF、HCl、硫酸雾、氨气、有机废气等污染物。这些废气污染物,若没有经过净化处理就直接排放,将会对环境造成严重大气污染,还会危害周围居民健康。因此,需要对芯片废气进行净化处理后达标排放。
半导体芯片废气处理方法有哪些

半导体芯片废气处理方法有哪些

半导体制造工艺中使用,产生酸性、碱性、有机废气,这些废气如果没有经过处理直接排放,将造成严重的污染问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,因此,必须对半导体废气进行净化处理后,达到大气污染物标准排放。