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电子敏感元件废气处理方法
来源: | 发布日期:2024-03-21 | 浏览次数: |

1.电子敏感元件废气简述

电子敏感元件是一种能敏锐地感受某种物理、化学、生物的信息并将其转变为电信息的特种电子元件。电子敏感元件是传感器的核心元件。随着电子计算机和信息技术的迅速发展,电子敏感元件的重要性日益增大,带动了电子敏感元件制造行业快速发展,行业规模迅速扩大,技术水平提升,有力推动了我国信息化建设和经济社会发展。但是电子敏感元件在制造生产过程会产生废气污染物,其污染物主要为氢氟酸、氨气、非甲烷总烃等废气污染物。这些污染物如果未经过净化处理,直接排放进入大气,不但对环境造成了严重污染,还严重危及周边居民的身体健康。因此,必须对电子敏感元件废气进行净化处理后达标排放。

电子敏感元件废气处理方法

1.1电子敏感元件废气来源及成分

氢氟酸酸雾:清洗工序使用氢氟酸溶液,产生酸雾,主要污染因子为氟化氢。

氨气:PECVD(等离子化学气相沉积)工序原理是采用进气管计量将硅烷和氨气通入 PECVD 管内,通过化学反应产生氮化硅。该工序产生含氨气的废气,主要污染因子为氨气。

有机废气:丝印烧结工序产生少量有机废气,主要污染因子为非甲烷总烃。

2.电子敏感元件废气处理方法

电子敏感元件制造生产过程产生废气为氟化氢、氨气、有机废气等废气污染物,对于氟化氢、氨气等酸碱性废气处理采用酸碱中和法即可处理,而对于有机废气处理方法有很多种,常见主要有活性炭吸附法、燃烧法、UV光解净化法,下面天浩洋小编详细介绍电子敏感元件废气处理方法。

2.1 酸碱性废气处理方法

酸性废气处理方法是采用“碱液喷淋塔”进行处理,以10%的氢氧化钠溶液为吸收液。碱性废气处理方法是采用“酸液喷淋塔”进行处理,以10%的硫酸溶液为吸收液。酸性、碱性废气洗涤净化法,在电子行业生产中应用相当普遍,具有运行稳定,处理效果好,投资少,处理费用低等优点。

2.2 有机废气处理方法

(1)活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固体吸附剂(活性碳、硅胶、分子筛等)来处理有机废气,这样就能够通过化学键力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且将其吸附在吸附剂的表面,从而达到净化有机废气的目的。吸附法目前主要应用于大风量、低浓度(≤800mg/m3)、无颗粒物、无粘性物、常温的低浓度有机废气净化处理。

活性炭净化率高(活性炭吸附可达到90%以上),实用遍及,操纵简单,投资低。在吸附饱和以后需要更换新的活性炭,更换活性炭需要费用,替换下来的饱和以后的活性炭也是需要找专业人员进行危废处理,运行费用高。

(2)燃烧法

燃烧法只在挥发性有机物在高温及空气充足的条件下进行完全燃烧,分解为CO2和H2O。燃烧法适用于各类有机废气,可以分为直接燃烧、热力燃烧和催化燃烧。

排放浓度大于5000mg/m³ 的高浓度废气一般采用直接燃烧法,该方法将VOCs废气作为燃料进行燃烧,燃烧温度一般控制在1100℃,处理效率高,可以达到95%一99%。

热力燃烧法适合于处理浓度在1000—5000 mg/m³ 的废气,采用热力燃烧法,废气中VOCs浓度较低,需要借助其他燃料或助燃气体,热力燃烧所需的温度较直接燃烧低,大约为540—820℃。燃烧法处理VOCs废气处理效率高,但VOCs废气若含有S、N等元素,燃烧后产生的废气直接外排会导致二次污染。

通过热力燃烧或者催化燃烧法处理有机废气,其净化率是比较高的,但是其投资运营成本极高。因废气排放的点多且分散,很难实现集中收集。燃烧装置需要多套且需要很大的占地面积。热力燃烧比较适合24小时连续不断运行且浓度较高而稳定的废气工况,不适合间断性的生产产线工况。催化燃烧的投资和运营费用相对热力燃烧较低,但净化效率也相对较低一些;但贵金属催化剂容易因为废气中的杂质(如硫化物)等造成中毒失效,而更换催化剂的费用很高;同时对废气进气条件的控制非常严格,否则会造成催化燃烧室堵塞而引起安全事故。

(3)UV光解净化法

UV光解净化法利用高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧(即活性氧),因游离氧所携带正负电子不平衡所以需与氧分子结合,进而产生臭氧,臭氧具有很强的氧化性,通过臭氧对有机废气、恶臭气体进行协同光解氧化作用,使有机废气、恶臭气体物质降解转化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解净化法具有高效处理效率,可达到95%以上;适应性强,可适应中低浓度,大气量,不同有机废气以及恶臭气体物质的净化处理;产品性能稳定,运行稳定可靠,每天可24小时连续工作;运行成本低,设备耗能低,无需专人管理与维护,只需作定期检查。UV光解法因采用光解原理,模块采取隔爆处理,消除了安全隐患,防火、防爆、防腐蚀性能高,设备性能安全稳定,特别适用于化工、制药等防爆要求高的行业。

以上关于电子敏感元件废气处理方法介绍,希望可以帮到您,其实对于电子敏感元件废气处理,一般是需要根据废气的浓度、产生量、废气成分、如何收集等方面进行设计收集处理。如果您有电子敏感元件废气需要净化处理,可以随时拨打400 808 2272电话,咨询天浩洋环保,为您提供电子敏感元件废气处理方案及设备。

 

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