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平板显示器制造废气处理方法
来源: | 发布日期:2022-12-02 | 浏览次数: |

1.平板显示器制造废气简述

近年来,智能手机、平板电脑、液晶电视、笔记本电脑等电子产品受益于终端消费市场需求的持续增长,制造这些产品的平板显示产业规模不断壮大。平板显示器是近年来发展较快的高新技术行业,平板显示业已经逐渐成为我国国民经济发展进程中一项必不可少的基础性及战略性产业。平板显示行业制程过程中需要使用几百种化学品,这就间接导致了平板制造业生产过程中的废气污染具有种类繁多、组分复杂特点,以及对工厂车间及周边环境产生严重的影响,因此,必须对平板显示器制造产生废气进行净化处理后,达到大气污染物排放要求。

平板显示器制造废气处理方法

1.1 平板显示器制造废气污染物来源

平板显示器生产过程按工序划分为阵列生产工序、彩膜生产工序、成盒生产工序、有机蒸镀生产工序、模组工序等。

酸性废气主要来自阵列生产工序湿法刻蚀酸性原料挥发产生的废气,以及准分子激光退火装置定期排放的介质气体,主要污染物为HCl、氟化物等酸雾。

碱性废气主要来自阵列、彩膜生产工序显影过程产生的碱性挥发性物质,主要污染物为NH。

干法刻蚀和化学气相沉积废气主要来自于一些气体原料在进行干法刻蚀过程产生一定量的反应废气和未反应的原料气,主要污染物为N0、SiH、NH₃、NF₃、PH₃、BF₂、Cl₂、SF6、CF4、C4F8、、BCl₃。和反应废气氟化物和氯化物等。

有机废气主要来自于生产过程中有机原材料中有机气体的挥发,主要污染物非甲烷总烃。

2.平板显示器制造废气处理方法

平板显示器制造生产过程产生废气主要为酸性废气、碱性废气、干法刻蚀和化学气相沉积废气、有机废气,对于这些废气处理方法有哪些呢?接下来,天浩洋环保小编详细介绍平板显示器制造废气处理方法。

2.1 酸性废气处理方法

酸性废气主要污染物为HCl、HF、氮氧化物等。该类废气主要使用氢氧化钠湿式填料洗涤塔进行酸碱中和净化处理,洗涤液选择浓度为4%的氢氧化钠溶液,废气经洗涤塔酸碱中和处理后,达到国家排放标准后排放。

2.2 碱性废气处理方法

碱性废气主要废气污染物为NH₃。该类废气主要是用硫酸湿式填料洗涤塔进行酸碱中和净化处理,洗涤液选择浓度4%的硫酸溶液,废气经洗涤塔酸碱中和处理后,达到国家排放标准后排放。

2.3 干法刻蚀和化学气相沉积废气处理方法

干法刻蚀和化学气相沉积废气污染物主要为SO₂、HCl、氟化物、NOx、NH₃、Cl₂等,该类废气经过碱性湿式填料洗涤塔酸碱中和净化处理,洗涤液选择浓度为4%的NaOH和NaHSO₃溶液,净化后废气通过排气筒高空排放。

2.4 有机废气处理方法

有机废气主要污染物非甲烷总烃。该类废气主要处理方法有活性炭吸附法、燃烧法、UV光解净化法,下面详细介绍非甲烷总烃废气处理方法。

(1)活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固体吸附剂(活性碳、硅胶、分子筛等)来处理有机废气,这样就能够通过化学键力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且将其吸附在吸附剂的表面,从而达到净化有机废气的目的。吸附法目前主要应用于大风量、低浓度(≤800mg/m3)、无颗粒物、无粘性物、常温的低浓度有机废气净化处理。

活性炭净化率高(活性炭吸附可达到90%以上),实用遍及,操纵简单,投资低。在吸附饱和以后需要更换新的活性炭,更换活性炭需要费用,替换下来的饱和以后的活性炭也是需要找专业人员进行危废处理,运行费用高。

(2)燃烧法

燃烧法只在挥发性有机物在高温及空气充足的条件下进行完全燃烧,分解为CO2和H2O。燃烧法适用于各类有机废气,可以分为直接燃烧、热力燃烧和催化燃烧。

排放浓度大于5000mg/m³ 的高浓度废气一般采用直接燃烧法,该方法将VOCs废气作为燃料进行燃烧,燃烧温度一般控制在1100℃,处理效率高,可以达到95%一99%。

热力燃烧法适合于处理浓度在1000—5000 mg/m³ 的废气,采用热力燃烧法,废气中VOCs浓度较低,需要借助其他燃料或助燃气体,热力燃烧所需的温度较直接燃烧低,大约为540—820℃。燃烧法处理VOCs废气处理效率高,但VOCs废气若含有S、N等元素,燃烧后产生的废气直接外排会导致二次污染。

通过热力燃烧或者催化燃烧法处理有机废气,其净化率是比较高的,但是其投资运营成本极高。因废气排放的点多且分散,很难实现集中收集。燃烧装置需要多套且需要很大的占地面积。热力燃烧比较适合24小时连续不断运行且浓度较高而稳定的废气工况,不适合间断性的生产产线工况。催化燃烧的投资和运营费用相对热力燃烧较低,但净化效率也相对较低一些;但贵金属催化剂容易因为废气中的杂质(如硫化物)等造成中毒失效,而更换催化剂的费用很高;同时对废气进气条件的控制非常严格,否则会造成催化燃烧室堵塞而引起安全事故。

(3)UV光解净化法

UV光解净化法利用高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧(即活性氧),因游离氧所携带正负电子不平衡所以需与氧分子结合,进而产生臭氧,臭氧具有很强的氧化性,通过臭氧对有机废气、恶臭气体进行协同光解氧化作用,使有机废气、恶臭气体物质降解转化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解净化法具有高效处理效率,可达到95%以上;适应性强,可适应中低浓度,大气量,不同有机废气以及恶臭气体物质的净化处理;产品性能稳定,运行稳定可靠,每天可24小时连续工作;运行成本低,设备耗能低,无需专人管理与维护,只需作定期检查。UV光解法因采用光解原理,模块采取隔爆处理,消除了安全隐患,防火、防爆、防腐蚀性能高,设备性能安全稳定,特别适用于化工、制药等防爆要求高的行业。

以上关于平板显示器制造废气处理方法介绍,希望可以帮到您,其实对于平板显示器制造废气处理,一般是需要根据废气的浓度、产生量、废气成分、如何收集等方面进行设计收集处理。如果您有平板显示器制造废气需要净化处理,可以随时拨打400 808 2272电话,咨询天浩洋环保,为您提供平板显示器制造废气处理方案及设备。





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